離子源
OIS-ES
電子源
其高(gao)電流(liu)密度(du)(du)在提(ti)高(gao)等(deng)離子體密度(du)(du)和防止等(deng)離子體工藝充(chong)電方面(mian)非常有效(xiao)。 長(chang)時間的穩定性(xing)能，通過RF激發實現的氧氣工藝污染(ran)少，可以同時控制兩個蒸發源。
- Specifications
- 中和器 RFN-3A
- 電流(liu) 3000mA
- 最大射頻功率 150W
- 控制器(qi) OIS-ESC
- 中和器直流電 OISN-Ⅱ
- 中和器射頻 AX300Ⅲ (300W)
