光學膜厚監控儀
HOM1-1
高精度光學膜厚監控儀
用于DWDM成膜用真空鍍膜系統的膜厚控制。
- 特征
- 高NA值光學系(xi)統和低噪音(yin)電路(lu)設計,實現低噪音(yin),相對值達到(dao) +0.01%
- 應用高分解能(neng)分光光學系(xi),波長分解能(neng)達到0.08nm(1550nm)
- 使(shi)用鹵素燈光源(yuan),使(shi)用波(bo)長范圍1100nm-1700nm
- 運用先進的成膜計算(suan)控(kong)制技術,光透過率的極值監控(kong)能力可達(da)+0.01%
- 規格
- 型號 HOM1-1
- 波長帶域 1100nm - 1700nm
- 波長分解能 0.08nm
- 光亮設(she)定分解能(neng) 0.001%
- 光(guang)源 鹵(lu)素(su)燈
- 電源 AC100V±10%, 50/60Hz
- 消費(fei)電(dian)力 600VA