連續式光學薄膜形成裝置

COFC-1300

COFC-1300是由三個(ge)腔體組成(cheng)的(de)連(lian)續式光(guang)(guang)學(xue)薄(bo)膜鍍膜，可不破壞真(zhen)空的(de)情況下(xia)搬運工件，以實現連(lian)續大量(liang)生產光(guang)(guang)學(xue)濾光(guang)(guang)片。

特征
無振動(dong)傘架(jia)搬運系統
中心(xin)旋轉系統可提高旋轉精(jing)度并抑制顆粒(li)產生
轉速為20rpm，以改(gai)善膜厚控制能力
12點式(shi)高精度光(guang)學測厚監控儀
水晶(jing)微(wei)平衡監控儀（最多(duo)80個監測點）
裝載射(she)頻離子源(yuan)以實現(xian)高品(pin)質復雜薄膜
自(zi)動傘架安裝系統（可選自(zi)動裝載搬運系統，可選額外真空室）
規格
真空腔體（3腔體式(shi)） 上片腔體+蒸鍍腔體+下片腔體
（可選上片/下片式）
真空上片/下片腔體(ti)（2腔體(ti)） 304不銹鋼，
約1500mm (長) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
蒸(zheng)鍍腔體(ti)（2個門閥(fa)） 304不銹鋼，
約1500mm (長) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
極限真空壓力 ≤1.5 × 10-4 Pa
連續(xu)鍍膜的極限真空時間 ≤5 - 10分鐘 (7.0 × 10-3 Pa)
基板傘架 直徑(jing)1200 mm
旋轉速度(du) 5 - 20 rpm
蒸發(fa)源(yuan)（2個蒸發(fa)源(yuan)） 電子槍（帶(dai)自動進料系(xi)統）
射頻離(li)子源(yuan) 直徑17cm
工作條件
電(dian)源要求(qiu) 3相+G, 200V ± 5％、約(yue)140kVA、50/60Hz
冷卻水流(liu)量 三(san)個進水口≥200升/分鐘
重(zhong)量 約25000 kg