離子源
OIS-Three/OIS-Three Plus
RF Ion Source
OIS-Three/ OIS-Three Plus是離子輔助蒸(zheng)鍍的RF離子源(yuan)，可以均勻照射(she)Ф1600傘架。適(shi)(shi)合高(gao)速率下的真空蒸(zheng)著及基板清潔(jie)。搭(da)載在OTFC-1800光(guang)學鍍膜機上，適(shi)(shi)合于各(ge)種高(gao)性能光(guang)學濾(lv)光(guang)片的大批量生產(chan)。
- 特征
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新開發(fa)的特(te)殊柵網，壽(shou)命長
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同使用燈(deng)絲型的(de)離子源相比(bi)，壽命(ming)長，污染(ran)少
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高離(li)子電流密度和(he)均勻分(fen)布，照(zhao)射面積能達到Ф1600mm以(yi)上
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動作安定性高，能長時間運轉
- 規格
- 型號 OIS-Three OIS-Three Plus
- 尺寸(cun) φ 390mm × 215mm(H)
- 柵(zha)網尺寸 Ф 23cm(Molybdenum制(zhi)3枚)
- 離子束電壓 100V～1500V
- 離子(zi)束(shu)電流 1800mA 2400mA
- Acc電壓(ya) 100V～1000V
- RF功率 2000W
- 氣體流量 20sccm～40sccm（氬氣）40sccm～80sccm（氬氣）
- 使用壓力 5 × 10-2 Pa
- 水冷方式 RF線圈和本體
- 中和器規格
- 尺寸(cun) φ 7cm × 12cm
- 發射電流 2800mA(max)
- RF功率 150W(max）
- 氣體流量 5sccm～10sccm（氬(ya)氣）
