ALDER
ALDER-800P
ALDER-800P 是一(yi)種等離子 ALD 系統，可在(zai)塑料(liao)基板(ban)上進行光學(xue)多(duo)層(ceng)沉積(ji)。
- 特征
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在整個鏡片(pian)圓周和 3D 結構上進行(xing)保形沉積
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可以在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上進行薄膜沉積。
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工(gong)作盤成膜量大 Φ100×75片
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等離子工(gong)藝可實(shi)現(xian)低溫(wen)沉積
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通(tong)過(guo)優化原材料(liao)供應和等(deng)離子體照(zhao)射縮短沉積(ji)時(shi)間(jian)
