關于OTFC系列
OTFC-900
OTFC系列(lie)是用于生產紅外截止濾光(guang)片(pian)、分色濾光(guang)片(pian)等成膜的(de)真空鍍膜裝置(zhi)。
- 特征
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真空室(shi)尺寸：Φ600-1800mm
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60點(dian)/80點(dian)式(shi)光學膜(mo)厚(hou)監控
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使用均勻分布的(de)高(gao)離子(zi)電流密度(du)的(de)離子(zi)源
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搭載雙電子槍(qiang)，多點和環型坩堝可鍍100層以上
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利用(yong)自動(dong)蒸(zheng)鍍控制系(xi)統實現(xian)全自動(dong)蒸(zheng)鍍過程
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工件(jian)架可選(xuan)擇鐘罩(zhao)式或行星式
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排氣系統(tong)可(ke)選擇擴散泵(beng)+低溫(wen)冷凝器(qi)(POLYCOLD)或冷凝泵(beng)
- 規格
- 設備名稱 OTFC-900CBI/DBI
- 真空室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
- 工件架 φ 790mm
- 工(gong)件(jian)架轉速(su) 10 rpm to 30 rpm (可變)
- 光學膜厚控制(zhi) HOM2-R-VIS350A光學膜(mo)厚(hou)監控儀波長范(fan)圍：350nm to1100nm反射(she)式/透射(she)式可選
- 水晶(jing)式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器
- 蒸發源 電子(zi)槍2套(tao)
- 離子(zi)源 10cm RF 離子源
- 排氣系統 機(ji)械泵+1個擴散泵+Polycold（或1個冷凝(ning)泵）
- 性能
- 達(da)到(dao)壓力 7.0 × 10-5 Pa 以(yi)下
- 排氣時間(jian) 15 分 (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
- 基板溫度 最高：350℃
- 工作條件
- 設備尺寸(cun) 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
- 電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
- 水流量 80升(sheng)/分以(yi)上
- 空氣壓力 0.5MPa 以(yi)上(shang)
- 重量(liang) 約5400kg
