ALDER
ALDER-800P
ALDER-800P 是(shi)一種(zhong)等離(li)子 ALD 系(xi)統，可(ke)在塑(su)料(liao)基板(ban)上進行光(guang)學多層沉積。
- 特征
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在整個鏡片圓周和 3D 結構上進行保形沉積
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可以在 AI2O3、TiO2 和(he) SiO2 上(shang)進行薄膜(mo)沉積。
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工(gong)作盤(pan)成膜量大 Φ100×75片
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等離子工藝可(ke)實現低溫沉積
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通過(guo)優化原材料供應和等離子體照(zhao)射縮短沉積(ji)時(shi)間
