關于OTFC系列

OTFC-900

OTFC系列是用于生產紅外(wai)截止濾光片、分色濾光片等成膜的(de)真空鍍(du)膜裝置。

特征
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60點/80點式光學膜厚(hou)監(jian)控
使用均勻分布的高(gao)離子(zi)電(dian)流(liu)密度的離子(zi)源(yuan)
搭載雙電子(zi)槍，多點和環型坩(gan)堝可(ke)鍍100層以(yi)上
利(li)用自(zi)動蒸鍍控制系(xi)統(tong)實現(xian)全(quan)自(zi)動蒸鍍過(guo)程
工(gong)件(jian)架可選(xuan)擇鐘罩(zhao)式或行星式
排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或(huo)冷凝泵
規格
設備(bei)名(ming)稱 OTFC-900CBI/DBI
真空室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
工件架 φ 790mm
工(gong)件架轉速 10 rpm to 30 rpm (可變)
光學膜厚控制(zhi) HOM2-R-VIS350A光(guang)學膜厚(hou)監控儀波長范(fan)圍：350nm to1100nm反射(she)式(shi)/透射(she)式(shi)可選
水(shui)晶式膜(mo)厚計 XTC/3+6點式水晶(jing)傳感器
蒸發(fa)源(yuan) 電子槍2套
離子源 10cm RF 離子源
排氣系統 機械泵+1個擴散泵+Polycold（或1個冷(leng)凝(ning)泵）
性能
達到壓力 7.0 × 10-5 Pa 以(yi)下
排氣時間 15 分 (大(da)氣(qi)壓 1.3×10-3 Pa)
基板溫度(du) 最高：350℃
工作條件
設備尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
水流量 80升/分以(yi)上
空氣壓力(li) 0.5MPa 以上
重量(liang) 約5400kg