離子源

OIS-One/OIS-Two/OIS-Two Plus

17cm RF Ion Source

OIS-One是(shi)(shi)光(guang)馳(chi)自行開發的(de)(de)(de)(de)(de)離(li)子(zi)輔(fu)助(zhu)(zhu)蒸度(du)高性(xing)能(neng)射頻（RF）離(li)子(zi)源，適應于在高速率下的(de)(de)(de)(de)(de)離(li)子(zi)束(shu)輔(fu)助(zhu)(zhu)沉積(ji)(ji)（IAD）及(ji)清洗。搭(da)載在光(guang)馳(chi)的(de)(de)(de)(de)(de)成膜設(she)備(bei)(bei)OTFC-1100,OTFC-1300上適于各(ge)(ge)種(zhong)光(guang)學濾光(guang)片(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)中(zhong)規(gui)模(mo)量產。 OIS-Two Plus是(shi)(shi)OIS-Two的(de)(de)(de)(de)(de)延伸機型。在離(li)子(zi)輔(fu)助(zhu)(zhu)蒸鍍(du)大電流大面(mian)積(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)能(neng)方面(mian)加以(yi)進化的(de)(de)(de)(de)(de)RF離(li)子(zi)源，維護性(xing)能(neng)的(de)(de)(de)(de)(de)優化及(ji)中(zhong)和(he)器的(de)(de)(de)(de)(de)改良，提高冷卻效(xiao)率來達到穩(wen)定生產的(de)(de)(de)(de)(de)效(xiao)果。適用于在高速率下離(li)子(zi)束(shu)輔(fu)助(zhu)(zhu)沉積(ji)(ji)（ＩＡＤ）及(ji)清洗。搭(da)載在光(guang)馳(chi)的(de)(de)(de)(de)(de)ＯＴＦＣ-1300，ＯＴＦＣ-1550成膜設(she)備(bei)(bei)上可適合于各(ge)(ge)種(zhong)光(guang)學濾光(guang)片(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)大規(gui)模(mo)量產。

特征
同使用燈絲型(xing)的(de)離子(zi)源(yuan)比較，壽命長，污(wu)染少。
高離子電(dian)流密度和(he)均勻分布(bu)，照(zhao)射(she)面積能達到Ф1150mm以上
動作安定性高，能長時間運轉
規格
型號 OIS-One OIS-Two OIS-Two Plus
尺寸 φ300mm × 150mm (H)
柵網尺(chi)寸 Ф 17cm(Molybdenum制3枚)
離子束(shu)電壓 100V～1500V
離子束電流 1000mA 1200mA
Acc電壓 100V～1000V
RF功(gong)率 600W 750W 1000W
氣體流量(liang) 20sccm～30sccm（氬氣）40sccm～60sccm（氧氣）
使用(yong)壓力 5 × 10-2 Pa
水冷方式 RF線圈和(he)本體
中和器規格
尺寸(cun) φ 6cm × 8cm