ALDER

ALDER-800TBS

ALDER-800TBS (A800TBS) 是一種熱模(mo)式 ALD 系統，具有(you)大容量負載(zai)鎖(suo)定機制，可實(shi)現(xian)(xian)高通(tong)量、高均勻性和(he)出(chu)色的重現(xian)(xian)性。

特征
專為 LED 等高通量 ALD 應用(yong)而設計
以良(liang)好的再現性(xing)實現高度均勻(yun)的沉積工藝
6 秒以下的快(kuai)速 ALD 循環
維護(hu)周期長