ALDER

ADLER-1000P

ALDER-1000 實(shi)現了傳統薄膜沉積方法無法實(shi)現的(de)光學特性。可(ke)以形成3D膠片，相機鏡頭(tou)上的(de)AR膠片可(ke)以創造(zao)出沒有重影和眩光的(de)清(qing)晰圖像。

特征
可見光范圍內小于0.1%的超(chao)低(di)反(fan)射鍍膜(mo)
在具有陡峭三(san)維結構的表面上進行保形(xing)沉積(ji)
大曲(qu)率透(tou)(tou)鏡(jing)兩側的廣入射角增(zeng)透(tou)(tou)膜
低溫等離子在塑料(liao)鏡(jing)片(pian)上(shang)成膜
通過同時沉(chen)積 40 個(ge) φ350 晶(jing)圓實現高生產(chan)率
實現逼真清晰的圖像(xiang)，沒(mei)有重影和眩光
規格
真空室 W900mm x D900mm x H1150mm
沉積箱 W374mm x D700mm x H800mm
轉板(ban)架 φ350支架×40步，30rpm
等離子源(yuan) ICP（電感(gan)耦(ou)合等(deng)離子體(ti)）
前體來源 前體容(rong)器、ALD 閥、前體（TMA、3DMAS、TiCl4 等）
排氣系(xi)統 干泵
性能
極限壓力 真(zhen)空室：小于7Pa
排氣時(shi)間 真空室：30分(fen)鐘（大(da)氣壓至10Pa）
沉積(ji)溫度 最高(gao)130℃