光學膜厚監控儀
DHOM-T
直接透過式監控儀
DHOM-T是(shi)可(ke)直(zhi)接監(jian)控(kong)成膜過程中旋轉基板上(shang)的光學(xue)膜厚的光學(xue)膜厚計。 波長帶域為350～1100nm與350～2400nm。
- 特征
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可直接(jie)監控旋轉基板片上的光學膜厚
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旋轉(zhuan)基板(ban)上的監控點可變(鍍膜(mo)前調整(zheng))
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可同時配備間(jian)接控(kong)制(zhi)(zhi)儀能實(shi)現(xian)各(ge)層(ceng)間(jian)控(kong)制(zhi)(zhi)方(fang)式(shi)切換
- 規格
- 型(xing)號(hao) DHOM2-T DHOM4-T
- 波長帶域 350 ～ 1100nm 350 ～ 2400nm
- 測光方式 透(tou)過式
- 光源(yuan) 鹵(lu)素燈
- 電(dian)源 AC100V ± 10%, 50/60Hz
