關于OTFC系列

OTFC-1100

OTFC系(xi)列是用于生(sheng)產紅外截止濾光片、分色濾光片等(deng)成膜(mo)的真空鍍膜(mo)裝置。

特征
真空(kong)室(shi)尺寸：Φ600-1800mm
60點/80點式光(guang)學膜厚監控
使用(yong)均(jun)勻分(fen)布的(de)高(gao)離子電流密度的(de)離子源
搭載雙電子(zi)槍，多點和環(huan)型坩(gan)堝可鍍100層以上
利用自(zi)動蒸鍍控制(zhi)系統實現全自(zi)動蒸鍍過(guo)程
工件(jian)架可選擇(ze)鐘罩式或行星(xing)式
排氣系統可選(xuan)擇擴(kuo)散泵+低溫冷(leng)凝器(POLYCOLD)或冷(leng)凝泵
規格
設備名稱 OTFC-1100CBI/DBI
真空室 SUS304, φ1100mm×1520mm (H)
工件(jian)架 φ950mm
工件架(jia)轉(zhuan)速 10rpm to 50rpm(可變(bian))
光學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀
波長范圍:350nm to 1100nm
反射式/透射式可選
水晶式膜厚計(ji) XTC/3+6點式水(shui)晶傳感(gan)器
蒸發(fa)源 電子槍2套
離子(zi)源(yuan) 17cmRF離子源
排氣系統(tong) 機械泵(beng)(beng)+2個擴散(san)泵(beng)(beng)+Polycold（或2個冷凝泵(beng)(beng)）
性能
達到(dao)壓力 7.0×10-5Pa以下
排氣時(shi)間(jian) 15分（大(da)氣壓～1.3×10-3Pa）
基板溫度 最高(gao)：350℃
工作條件
設備尺寸(cun) 約5000mm(W)×6000mm(D)×3300mm(H)
電源(yuan) 3相(xiang),200v,50/60Hz, 約100KVA
水流(liu)量 120升/分以上
空氣(qi)壓(ya)力 0.5MPa以上
重量 約7200kg