關于Gener系列

AS/AR Vacuum Coater

此真空(kong)鍍膜(mo)機是鍍制防(fang)污(wu)膜(mo)（AS膜(mo)）及(ji)防(fang)反射膜(mo)+防(fang)污(wu)膜(mo)（AS+AS膜(mo)）的(de)大型光學鍍膜(mo)機， 應用于智慧(hui)手機等所配的(de)觸摸屏。

特征
磁密封驅動的(de)基(ji)板旋轉方式(shi)可得到穩定(ding)和均勻的(de)膜厚分布
配備RF離(li)子(zi)源以(yi)提高膜的耐摩擦(ca)性。（*已通過4萬(wan)次以(yi)上摩擦(ca)試(shi)驗(yan)*）
* 根據(ju)摩擦(ca)試驗(yan)的規格，摩擦(ca)的次數有所不(bu)同。
防污膜(mo)（AS 膜(mo)）批量生產。
規格
真空(kong)室(shi) Ф2350mm×H 1400mm
基板架 Ф2200 mm，5片式
基板架轉速 20rpm
晶振(zhen)式膜厚(hou)計(ji) 6點式水晶傳(chuan)感器(qi)
蒸發 電(dian)子槍1臺，熱(re)阻蒸(zheng)1臺
離子源 RF離子(zi)源
性能
達(da)到壓力 7.0E-5Pa 以下(xia)
排(pai)氣時間 15分以下（大氣壓～2.0×10-3 Pa）
工作條件
設(she)備尺寸 約(yue)6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H)
電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
水流量 220升/分以上
空氣壓(ya)力(li) 0.5 - 0.7 MPa
重量 約12000kg