關于OTFC系列
OTFC-900
OTFC系列是用于生產紅外截止濾光片、分(fen)色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。
- 特征
-
真(zhen)空(kong)室尺寸：Φ600-1800mm
-
60點(dian)/80點(dian)式光(guang)學(xue)膜(mo)厚監控
-
使用(yong)均勻(yun)分布的高離子電流密度(du)的離子源
-
搭載(zai)雙電子槍，多點(dian)和環型坩堝可(ke)鍍(du)100層以上
-
利用(yong)自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程
-
工件架可選擇鐘罩(zhao)式或行星式
-
排氣系(xi)統可選擇擴散泵+低溫冷(leng)凝(ning)器(POLYCOLD)或(huo)冷(leng)凝(ning)泵
- 規格
- 設備名稱 OTFC-900CBI/DBI
- 真空室(shi) SUS304, φ900mm×1300mm (H)
- 工件架 φ 790mm
- 工件架轉速 10 rpm to 30 rpm (可變)
- 光(guang)學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jian)控(kong)儀波長范(fan)圍：350nm to1100nm反(fan)射式/透(tou)射式可選
- 水晶(jing)式(shi)膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器
- 蒸發源 電子槍2套
- 離(li)子(zi)源(yuan) 10cm RF 離(li)子源
- 排氣系統 機(ji)械泵(beng)(beng)+1個(ge)擴散泵(beng)(beng)+Polycold（或1個(ge)冷凝(ning)泵(beng)(beng)）
- 性能
- 達到壓力 7.0 × 10-5 Pa 以下
- 排氣時(shi)間 15 分 (大氣壓(ya) 1.3×10-3 Pa)
- 基(ji)板溫度 最(zui)高：350℃
- 工作條件
- 設備(bei)尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
- 電(dian)源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
- 水流(liu)量 80升/分以上
- 空(kong)氣(qi)壓力 0.5MPa 以上
- 重量 約(yue)5400kg
